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URE-2000A型 光刻機(jī)
URE-2000A型 光刻機(jī) 技術(shù)參數(shù)：
1. 曝光面積：150mmX150mm
2. 曝光波長(zhǎng)：365nm
3. 分辨率：0.8~1μm （膠厚 2μm的正膠）；
4. 對(duì)準(zhǔn)精度：±0. 6μm
5. 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm; Y：15mm
6. 掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；
7. 樣片尺寸：直徑φ15mm~φ150mm（各種不規(guī)則片）；厚度 0.1mm~5mm(可拓展至 15mm)；
8. 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式），0.1s~9999s
9. 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光 、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
10. 照明不均勻性： 2.5%（φ100mm 范圍）；5%（φ150mm 范圍）；
11. 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過 CCD+ 顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大800倍；
物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍
12. 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)；
13. 數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙；
14. 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口；
15. 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6 度
16. 最大膠厚：500μm(SU8膠)
17. 光源平行性：2°
18. 曝光能量密度：>18mW/cm2
19. 冷卻方式：循環(huán)水+風(fēng)冷
20. 曝光面溫度：<30 °C
21. 汞燈功率：1000W（直流， 進(jìn)口汞燈）
22. 外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）×1200mm(寬) ×1950mm（高）
